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LED半导体晶圆检测设备、公司

作者:泽联时间:2023-07-10 10:51浏览:
       工业视觉检测是工业环节中非常重要的一个环节。机器视觉技能在工业中的运用非常广泛,具有极高精确度的机器视觉检测体系,可以取得和主动处理许多的信息。机器视觉检测体系将传统的“简略东西+人眼”模式变成高速度高精确度的主动检测效果,节约了许多的人力。
       随着面板市场的技术升级,每个晶圆上的晶粒逐步降低到微米级,例如当每个发光单元的尺寸小于75微米则称之为MicroLED。LED单元的微小化对检测系统有了更高的要求。这对于外观检测的光学系统的光学精度要求增加。
       并且,电致发光光谱测试的探针需要更细,且定位更准,同时,由于探针与器件电极的直接接触,还可能造成器件损伤。另外,由于尺寸变小,一片晶圆上的LED单元数量激增,采用传统的电致发光检测手段的效率难以令产业界接受,例如,一个4英寸的晶圆上至少需要几十个小时才能完成一片晶圆的检测。
       表面缺陷检测主要是物体表面局部物理或者化学性质不均匀的区域,比较常见的有金属或者塑料制品表面的划痕(如:手机壳/屏幕表面的划痕)、斑点和孔洞(如:PCB板漏了焊点或者表面多了焊点),纸张表面的色差、脏污点、破损,纸制品表面的压痕、凸起,玻璃等非金属制品表面的杂质、破损、污点、平整度等。

 LED检测,半导体检测,晶圆检测

       在LED芯片,比如:平板电脑、手机LED等的生产过程中,其晶体缺陷、器件缺陷、表面沾污等不良均会导致器件质量下降甚至失效,导致降低生产良率。对光电器件材料的全面表征可以在芯片制造环节中尽早发现问题,最大化的降低损失。另外,通过对检测结果的分析与归纳,还可以分析芯片制程中存在的潜在问题,为工艺优化提供更准确的方向。
       目前,在传统的LED器件领域,其器件性能的检测流程包括外观缺陷扫描以及电致发光测试。外观缺陷扫描通过可见光对晶圆外观进行成像扫描,检测其外观缺陷。再通过电致发光光谱对晶圆上的每颗LED逐个扫描,来获取单个发光单元的光电性能来检测器件的有效性。
       以上方式需要对MiniLED、MicroLED的每个发光单元用探针通电进行测试,并获得每个单元的电致发光光谱,获得其器件电学特性以及其发光波长、发光强度,并根据这些信息对每个LED进行分选。同时,搭配高效率,长寿命和均匀性好的LED光源,满足了CMOS图像传感器快速移动时积累电荷的需求,降低了平台移动精度的需求,所以,更符合目前显示行业生产节拍越来越快的需求。
       因此,该技术领域迫切需要一种能够进行高精度、高通量、无损伤、多维度的替代性检测技术。采用无接触无损伤的光学检测方案代替传统的接触式电学检测,可以在不破坏芯片的基础上,进行多维度的信息检测。

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